本文微機電系統(tǒng)硅壓力變送器資料由優(yōu)質(zhì)變送器生產(chǎn)報價廠家為您提供。

高精度壓力/差壓變送器廣泛應用于汽車工業(yè)、航空、石油化工、市政建設、軍事、裝備、節(jié)能環(huán)保、電力能源等自動化控制環(huán)境和高端主要設備的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

近年來，中國經(jīng)濟處于高速發(fā)展階段，隨著中國高端制造業(yè)和工業(yè)化的發(fā)展，對高精度硅壓力和力傳感器及變送器的需求將迅速增加。我國自主研發(fā)的壓力/差壓變送器基本采用傳統(tǒng)電容，其精度、可靠性和環(huán)境適應性遠遠落后于先進的硅壓力傳感器。

我國自主研發(fā)的硅壓/差壓變送器的精度和可靠性不能滿足需求，傳感器等核心元件仍依賴進口。每年，石油、石化、能源、軍事等行業(yè)都要進口高精度的MEMS硅壓力變送器近百萬單位。出于工業(yè)安全、國家安全、價格壁壘、服務等因素，對高精度變送器國產(chǎn)化的需求日益增加。

與國外相比，我國高精度、高可靠性硅壓力傳感器和系統(tǒng)的技術(shù)水平差距較大，在可靠性和生產(chǎn)過程一致性方面比國外低1~2個數(shù)量級，產(chǎn)業(yè)化程度不到15%。此外，國內(nèi)高精度、高可靠性的硅壓力傳感器和系統(tǒng)在測量精度、靈敏度、使用壽命等指標上均低于國外主流產(chǎn)品，其中最突出的是測量精度指標與國外品牌的明顯差距。以壓力變送器測量精度為例，國內(nèi)廠商的產(chǎn)品精度通常為0.5%FS~0.1%FS，而國外品牌的產(chǎn)品一般達到0.075%FS，有些品牌甚至達到0.04%FS~0.025%FS[2]。

大膽嘗試打破國外品牌對高精度微機電系統(tǒng)硅壓力變送器的壟斷。目前，實踐單位在高精度硅壓力變送器的關(guān)鍵技術(shù)上有所突破，小批量生產(chǎn)的精度達到0.075%FS，產(chǎn)品合格率達到85%以上。因為用于變送器敏感元件的半導體材料具有溫度敏感特性，所以有必要補償變送器的溫度，以確保其達到預定精度。實習單位對變送器的溫度補償采用軟硬件結(jié)合的補償方法。

根據(jù)現(xiàn)有的軟件補償方法，許多試驗證明，為了保證壓力變送器的精度滿足預定要求，需要5-7個溫度補償點，每個溫度點需要校準9-17個壓力點。根據(jù)溫度補償?shù)牟僮饕?guī)范，變送器應在每個溫度補償點在培養(yǎng)箱中保溫兩小時，以確保其被完全加熱，即變送器的內(nèi)部和外部溫度達到相同水平。但是，目前使用的補償方法需要更多的溫度補償點來保證壓力變送器的精度，從而延長了變送器的生產(chǎn)周期，影響了公司的生產(chǎn)效率，增加了生產(chǎn)成本，不利于公司的市場拓展。因此，在保證壓力精度高/差壓變送器(高于0.075%FS)的前提下，溫度補償點或時間的每一次減少對生產(chǎn)都具有重要意義。

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